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日本富士工業Fuji在線式多組分密度計FUD-1 Model-53

產品概覽

FUD-1 Model-53作為富士工業Fuji的在線式多組分密度計，不僅繼承了FUD-1系列的高精度在線測量和出色的可維護性，還特別配備了適用于半導體制造工藝的小型單元型振蕩器。這款密度計專為多組分測量設計，能夠滿足復雜工藝中的精準需求。

多組分濃度計特色 日本富士工業Fuji在線式多組分密度計FUD-1 Model-53

• 實時雙組分密度測量：FUD-1 Model-53能夠同時實時測量并顯示兩個組分的密度，以及超聲波傳播速度、溫度和電導率等關鍵參數。
• 標準配置豐富：標配模擬DC 4-20mA（2線）和數字RS232C輸出，以及測量誤差輸出和報警輸出，方便用戶接入各種監控和控制系統。
• 自診斷與錯誤信息顯示：內置自診斷功能，能夠自動檢測并顯示錯誤信息，確保設備的穩定運行。
• 緊湊輕便：電池式變送器設計緊湊輕便，可直接安裝在生產線上，節省空間且易于維護。
• 化學藥品耐受性：采用高質量的潤濕材料和PFA小產量設計，確保對化學藥品的耐受性，延長設備使用壽命。

優勢亮點日本富士工業Fuji在線式多組分密度計FUD-1 Model-53

• 高精度連續測量：確保測量結果的穩定性和準確性。
• 免維護設計：無需定期調整或校準，降低維護成本。
• 簡易安裝：安裝過程中無需進行任何調整，即插即用。
• 實時反饋：通過實時輸出測量結果，能夠迅速反饋到生產過程中，實現精準控制。

應用場景

• CMP工藝控制：用于CMP漿料和氧化劑濃度的**控制，確保CMP過程的穩定性和效率。
• 清洗液濃度控制：在清洗過程中，**控制清洗液的濃度（如HF + HNO3、HF + H2SiF6等），提高清洗效果。
• 蝕刻液濃度控制：在蝕刻過程中，**控制蝕刻液的濃度（如TMAH + 抗蝕劑、TMAH + Si等），確保蝕刻質量和均勻性。

技術規格日本富士工業Fuji在線式多組分密度計FUD-1 Model-53

• 型號：FUD-1 Model-53
• 轉換器：
  • 測量參數：超聲波傳播速度、溫度、電導率
  • 顯示：LCD（顯示密度1、密度2、溫度、聲速、電導率等參數）
  • 輸出信號：
    • 模擬DC 4-20mA：2個系統（可自由設定濃度值）
    • 數字RS232C（包含濃度1、濃度2、聲速、溫度、電導率、錯誤代碼等信息）
  • 報警：上下限測量錯誤報警，2個系統
  • 電源供應：AC100V-240V 50/60Hz兩用30VA（或DC24V可選）
  • 施工：面板安裝類型（符合DIN標準）
  • 環境溫度：0-50°C，RH85%以下（無凝結）
• 功能：輸出范圍設定、警報輸出設定、濃度顯示移動平均、濃度顯示偏移及增益設定、自診斷、故障保險、異常值取消、溫度時間常數校正等
• 選項：溫度輸出（DC4-20mA）、RS485輸出（不能與RS232C同時輸出）
• 通道（校準曲線）：*多7個通道
• 發射器：
  • SA-20S29 + 電導率儀：震動元素為PZT（2MHz）x1，測量元件為熱敏電阻，測量液體溫度為0-100°C，施工為流通池，濕件材料為PFA/PFA涂層，聯合為3/4配件（可更換），耐壓性為0.3MPa，流量推薦為5l/min，重量為2.5kg，電纜為專用電纜6m，環境溫度為5-45°C。
  • SA-20S27 + 電導率儀：震動元素為PZT（2MHz）x2，測量元件為熱敏電阻，測量液體溫度為0-80°C（其他參數同上）。

FUD-1 Model-53以其**的性能和廣泛的應用領域，成為了眾多行業中不可或缺的多組分密度測量工具。

更多日本富士工業Fuji在線式多組分密度計FUD-1 Model-53信息請直接誒致電埃登威上海公司18939876302